表面所具有的微观几何形状统称为表面形貌(surface topography)， 其中表面被定义为- -种材料与其它材料之间的分界面" (在工程表面的情况下，一种材料是空气，另-种为固体材料，例如金属、塑料等)。固体表面是指固体上代表实体和周围环境边界的部分。工程表面形貌代表着工件表面的主要外部特征，是由加工过程中的各种工序产生的。
一个制件表面的微观几何形貌特性在很大程度上影响着它的许多技术性能和使用功能。表面的耐磨性、密封性、配合性质、摩擦力、传热性、导电性、以及对光线和声波的反射性，液体和气体在壁面的流动性、腐蚀性、涂层的附着力，电子元件以及人造器官的性能，测量仪器和机床的精度、可靠性、振动和噪声等等功能，都与表面的几何结构特征有密切的联系"。通过检查加工后金属表面留下的纹理，常常可以发现工具或机床使用和操作中的缺点，如工具没有进行正确的调整和安装，或操作中的错误(错误的进给量和切削速度等)。表面的外观(外貌特征)有时也很重要，例如用于装饰的表面、汽车车身以及防冲挡板的薄钢板，其表面纹理对喷漆和电镀的牢固性和均匀性有很大的影响。油漆光滑的玻璃，要获得良好的、牢固和均匀的油漆表面要比油漆--个粗糙表面难得多。

由于接触式测量仪应用在复杂的生产现场，*受冲压机、空压机、或其它重型设备的振动干扰，而对于振幅为微纳米级、频率为若干赫兹的振动而言，其干扰也影响仪器正常精度的发挥，如果其干扰同测量仪自身的振动频率相似，较难察觉的微幅振动，将对测量精度的稳定性产生非常大的干扰，所以振动的消除常常成为棘手问题，因此测量仪制造商对于测量所处环境的振动频率与振幅均有一定的要求。

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