机械探针式测量方法:探针式轮廓仪测量范围大,测量精度高,但它是一种点扫描测量,测量费时。机械探针式测量方法是开发较早、研究充分的一一种表面轮廓测量方法。它利用机械探针接触被测表面,当探针沿被测表面移动时,被测表面的微观凹凸不平使探针上下移动,其移动量由与探针组合在- -起的位移传感器测量,所测数据经适当的处理就得到了被测表面的轮廓。机械探针是接触式测量,易损伤被测表面。
电子显微镜(electron microscope, EM)是使用高能电子束作光源,用磁场作透镜制造的具有高分辨率和高放大倍数的电子光学显微镜。电子显微分析方法以材料微观形貌,结构与成分分析为基本目的。电子显微分析方法中得到广泛应用的分别为透射电子显微镜分析与扫描电子显微镜分析及电子探针分析。
表面形貌评定的核心在于对特征信号无失真的提取和对使用性能的量化评定,国内外学者在这一方面做了 大量工作,提出了许多分离与重构方法。随着当今微机处理技术、集成电路技术、机电一体化技术等的发展。出现了用分形法、Motif法、功能参数集法、时间序列技术分析法、小二乘多项式拟合法、滤波法等各种评定理论与方法,取得了显着进展。