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SEM+ EDS测试范围:
SEM的二次电子成像分辨率约3nm
背散射电子成像分辨率约300nm
EDS成分分析的元素范围Be~U
分析深度约1μm
检测下限约1%
空间分辨率约1μm
SEM+ EDS常规服务项目:
各种固体材料的形貌分析
微区化学成分检测
样品成分的线分布和面分布分析
表面是由粗糙度,波纹度和表面形状误差3个部分构成的。随着现代测量精度的不断提高,亚粗糙度(sub roughness)与原子粗糙度的概念已被提出来,他们的出现是对原子级微观形貌进行评价的需要。简单的通过微观不平度的数值来区分三者是不可取的,因为在概念上从粗糙度变为波纹度必须根据工件的尺寸大小来确定。上述三种特征从不单独出现,大多数表面是由粗糙度,波纹度和形状误差组合形成的。由于三者的作用不同,因此,如何正确的将三者分离就成为一个十分重要的问题。
机械探针式测量方法:探针式轮廓仪测量范围大,测量精度高,但它是一种点扫描测量,测量费时。机械探针式测量方法是开发较早、研究充分的一一种表面轮廓测量方法。它利用机械探针接触被测表面,当探针沿被测表面移动时,被测表面的微观凹凸不平使探针上下移动,其移动量由与探针组合在- -起的位移传感器测量,所测数据经适当的处理就得到了被测表面的轮廓。机械探针是接触式测量,易损伤被测表面。