泰州表面微观形貌项目 欢迎来电

由于表面形貌本身的复杂性，很难用有限的参数来表征各种需要的特性。随着表面形貌研究的深入，各种不同的参数相继被提出并加入到原有的标准中，这些参数有的在内容上有交叉、重复，有的只反映非常特殊的应用情况，还有一-些参数其内在含义相互之间是矛盾的。参数的数量不断增多，形成了所谓的“参数爆炸”的局面。显然，这种情况非常不利于表面形貌评定学科的发展，给工业界实际的应用也带来了很大的困扰。这- -问题已经引起了业界广泛的重视，许多学者已经提出了各种解决方法，然而到目前为止还没有很完善的解决方案。

光学探针式测量方法:光学探针式测量方法原理上类似于机械探针式测量方法，只不过探针是聚集光束。根据采用的光学原理不同，光学探针可分为几何光学原理型和物理光学原理型两种。几何光学探针利用像面共轭特性来检测表面形貌，有共焦显微镜和离焦检测两种方法:物理光学探针利用干涉原理通过测量程差来检测表面形貌，有外差干涉和微分干涉两种方法。光学探针是非接触测量，，但需要一套高精度的调焦系统。

机械探针式测量方法:探针式轮廓仪测量范围大，测量精度高，但它是一种点扫描测量，测量费时。机械探针式测量方法是开发较早、研究充分的一一种表面轮廓测量方法。它利用机械探针接触被测表面，当探针沿被测表面移动时，被测表面的微观凹凸不平使探针上下移动，其移动量由与探针组合在- -起的位移传感器测量，所测数据经适当的处理就得到了被测表面的轮廓。机械探针是接触式测量，易损伤被测表面。