AFM已被广泛地应用于表面分析的各个领域,不同于SEM只能提供二维图像,AFM提供真正的三维表面图。同时,AFM不需要对样品的任何特殊处理,如镀铜或碳,这种处理对样品会造成不可逆转的伤害。其次,AFM在常压下甚至在液体环境下都可以良好工作。这样可以用来研究生物宏观分子,甚至活的生物组织。
AFM三维形貌观测:
通过检测探针与样品间的作用力可表征样品表面的三维形貌,这是AFM较基本的功能。
AFM在水平方向具有0.1-0.2nm的高分辨率,在垂直方向的分辨率约为0.01nm。
AFM对表面整体图像进行分析可得到样品表面的粗糙度、颗粒度、平均梯度、孔结构和孔径分布等参数,还可以对测试的结果进行三维模拟,得到更加直观的3D图像。
二氧化硅增透薄膜AFM图:
原子力显微镜测量3D形貌:
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