机械探针式测量方法:
探针式轮廓仪测量范围大,测量精度高,但它是一种点扫描测量,测量费时。
机械探针式测量方法是开发较早、研究充分的一一种表面轮廓测量方法。它利用机械探针接触被测表面,当探针沿被测表面移动时,被测表面的微观凹凸不平使探针上下移动,其移动量由与探针组合在- -起的位移传感器测量,所测数据经适当的处理就得到了被测表面的轮廓。机械探针是接触式测量,易损伤被测表面。
由于接触式测量仪应用在复杂的生产现场,*受冲压机、空压机、或其它重型设备的振动干扰,而对于振幅为微纳米级、频率为若干赫兹的振动而言,其干扰也影响仪器正常精度的发挥,如果其干扰同测量仪自身的振动频率相似,较难察觉的微幅振动,将对测量精度的稳定性产生非常大的干扰,所以振动的消除常常成为棘手问题,因此测量仪制造商对于测量所处环境的振动频率与振幅均有一定的要求。
启威测SEM+ EDS常规服务项目:
各种固体材料的形貌分析
微区化学成分检测
样品成分的线分布和面分布分析
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