福州表面微观形貌SEM 优质服务

干涉显微测量方法:干涉显微测量方法利用光波干涉原理测量表面轮廓。与探针式测量方法不同的是,它不是单个聚焦光斑式的扫描测量，而是多采样点同时测量。干涉显微测量方法能同时测量--个面上的表面形貌，横向分辨率取决于显微镜数值孔径，一般在pum或亚pum量级;横向测量范围取决于显微镜视场，大小在mm量级:纵向分辨率取决于干涉测量方法，一般可达nm或0.1nm量级:纵向测量范围在波长量级。因此干涉显微测量方法比较适宜于测量结构单元尺寸在pum量级，表面尺寸在mm或亚m量级的微结构。

扫描隧道显微镜(STM)是-种新型的表而测试分析仪器。与SEM、TEM相比，STM具有结构简单、分辨本领高等特点,可在真空大气或液体环境下以及在实空间内进行原位动态观察样品表面的原子组态，并可直接甲于观察样品表而发生的物理或化学反应的动态过程及反应中原子的迁移过程等。5.4 射电子显微镜(TEM)

传统的对表面形貌识别与评定的研究主要集中于表面粗糙度的测量与评定。对其它的表面特征研究基本上是宏观的定性的描述。表面粗糙度是指表面形貌中具有细微纹理的细微几何结构特征，其加工控制难度大，测量与评定的难度也大。所以表面粗糙度的研究构成了表面科学中表面特征研究的核心内容。表面粗糙度的研究大致经历了三个阶段: 1、定性综合评定阶段: 2、定量、标准化参数评定阶段: 3、定量高水平检测阶段。