表面粗糙度Ra是一个常用的轮廓参数,它对所有轮廓峰和轮廓谷取平均值,但只反映了有限的表面信息。
表面粗糙度测量是指将表面粗糙度比较样块(简称样块,图1)根据视觉和触觉与被测表面比较,判断被测表面粗糙度相当于那一数值,或测量其反射光强变化来评定表面粗糙度(见激光测长技术)。
利用光波干涉原理 (见平晶、激光测长技术)将被测表面的形状误差以干涉条纹图形显示出来,并利用放大倍数高 (可达500倍)的显微镜将这些干涉条纹的微观部分放大后进行测量,以得出被测表面粗糙度。应用此法的表面粗糙度测量工具称为干涉显微镜。这种方法适用于测量Rz和Ry为 0.025~0.8微米的表面粗糙度。
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