杭州表面微观形貌SEM费用 为您服务

SEM+ EDS测试范围:
SEM的二次电子成像分辨率约3nm
背散射电子成像分辨率约300nm
EDS成分分析的元素范围Be~U
分析深度约1μm
检测下限约1%
空间分辨率约1μm
SEM+ EDS常规服务项目:
各种固体材料的形貌分析
微区化学成分检测
样品成分的线分布和面分布分析

光学探针式测量方法:光学探针式测量方法原理上类似于机械探针式测量方法，只不过探针是聚集光束。根据采用的光学原理不同，光学探针可分为几何光学原理型和物理光学原理型两种。几何光学探针利用像面共轭特性来检测表面形貌，有共焦显微镜和离焦检测两种方法:物理光学探针利用干涉原理通过测量程差来检测表面形貌，有外差干涉和微分干涉两种方法。光学探针是非接触测量，，但需要一套高精度的调焦系统。

扫描电于显微镜(SEM)
扫描电子显微镜(scanning electron microscope, SEM)简称扫描电镜，是利用电子束在样品表而扫描激发出来代表样品表面特征的信号成像的。扫描电子显微镜(SEM)是由热阴极电子发射出的电子在电场作用下加速，经过2-3个电磁透镜的作用，在样品表而聚焦成为较细的电子束小直径为1-10nm)。场发射扫描电子显微镜的分辨率可达到1nm,放大倍数可达到15万-20万倍，还可以观察样品表面的成分分布情况。