传统的对表面形貌识别与评定的研究主要集中于表面粗糙度的测量与评定。对其它的表面特征研究基本上是宏观的定性的描述。表面粗糙度是指表面形貌中具有细微纹理的细微几何结构特征,其加工控制难度大,测量与评定的难度也大。所以表面粗糙度的研究构成了表面科学中表面特征研究的核心内容。表面粗糙度的研究大致经历了三个阶段: 1、定性综合评定阶段: 2、定量、标准化参数评定阶段: 3、定量高水平检测阶段。
扫描电于显微镜(SEM)
扫描电子显微镜(scanning electron microscope, SEM)简称扫描电镜,是利用电子束在样品表而扫描激发出来代表样品表面特征的信号成像的。扫描电子显微镜(SEM)是由热阴极电子发射出的电子在电场作用下加速,经过2-3个电磁透镜的作用,在样品表而聚焦成为较细的电子束小直径为1-10nm)。场发射扫描电子显微镜的分辨率可达到1nm,放大倍数可达到15万-20万倍,还可以观察样品表面的成分分布情况。
扫描隧道显微镜(STM)是-种新型的表而测试分析仪器。与SEM、TEM相比,STM具有结构简单、分辨本领高等特点,可在真空大气或液体环境下以及在实空间内进行原位动态观察样品表面的原子组态,并可直接甲于观察样品表而发生的物理或化学反应的动态过程及反应中原子的迁移过程等。5.4 射电子显微镜(TEM)