上海表面微观形貌SEM费用 优质服务

表面是由粗糙度，波纹度和表面形状误差3个部分构成的。随着现代测量精度的不断提高，亚粗糙度(sub roughness)与原子粗糙度的概念已被提出来，他们的出现是对原子级微观形貌进行评价的需要。简单的通过微观不平度的数值来区分三者是不可取的，因为在概念上从粗糙度变为波纹度必须根据工件的尺寸大小来确定。上述三种特征从不单独出现，大多数表面是由粗糙度，波纹度和形状误差组合形成的。由于三者的作用不同，因此，如何正确的将三者分离就成为一个十分重要的问题。

扫描电子显微镜(scanning electron microscope, SEM)简称扫描电镜，是利用电子束在样品表而扫描激发出来代表样品表面特征的信号成像的。

扫描电子显微镜(SEM)是由热阴极电子发射出的电子在电场作用下加速，经过2-3个电磁透镜的作用，在样品表而聚焦成为较细的电子束小直径为1-10nm)。场发射扫描电子显微镜的分辨率可达到1nm,放大倍数可达到15万-20万倍，还可以观察样品表面的成分分布情况。

SEM+ EDS测试范围:

SEM的二次电子成像分辨率约3nm