利用针尖曲率半径为 2微米左右的金刚石触针沿被测表面缓慢滑行,金刚石触针的上下位移量由电学式长度传感器转换为电信号,经放大、滤波、计算后由显示仪表指示出表面粗糙度数值,也可用记录器记录被测截面轮廓曲线。
应用此法的表面粗糙度测量工具称为光切显微镜。它适用于测量RZ和Ry为0.8~100微米的表面粗糙度,需要人工取点,测量效率低。
光线通过狭缝后形成的光带投射到被测表面上,以它与被测表面的交线所形成的轮廓曲线来测量表面粗糙度。由光源射出的光经聚光镜、狭缝、物镜1后,以45°的倾斜角将狭缝投影到被测表面,形成被测表面的截面轮廓图形,然后通过物镜 2将此图形放大后投射到分划板上。利用测微目镜和读数鼓轮(图中未示)先读出h值,计算后得到H 值。
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