启威测材料性能实验室主要拥有众多进口高端设备,主要针对固体表面进行成分、形貌、结构性能分析。
服务范围:
金属、半导体、陶瓷、聚合物等固体表面,涉及领域包括电子电器、半导体、光学、汽车、五金、钟表等。
分析技术 | 典型应用 | 探测信息 | 元素探测范围 |
AFM/SPM | 原子级分辨表面成像 | 原子尺度粗糙度 | - |
FIB | 剖面制备,为STEM/TEM制备薄膜样品 | 二次电子,背散电子,二次离子 | B – U (EDS 模式) |
FTIR | 表征**聚合材料,污染,**膜层,纤维,液体等 | 红外吸收 | 分子化学键识别 |
GC/MS | 定性定量表征**挥发组分 | 分子/ 特征碎片离子 | 分子离子 |
Raman | **和无机成分表征 | 拉曼散射 | 分子化学键接 |
RBS | 定量分析薄膜成分和厚度 | 背散 He 原子 | Li- U |
SEM/EDS | 成像和元素分析 | 二次电子、背散电子、X射线 | B - U |
FE SEM | 高空间分辨成像 | 二次电子,背散电子 | - |
SIMS | 掺杂,杂质深度剖析, 表面微分析 | 二次离子 | H - U |
TEM | 高空间分辨成像 | 透射电子 | - |
TOF SIMS | 无机材料,**高分子材料表面微分析 | 二次离子,原子,分子 | H - U |
XPS/ESCA | **无机分子表面分析 | 光电子 | Li – U |
XRD | 晶相分析,晶格取向,晶粒尺寸 | 衍射X射线 | - |
XRF | 薄膜、厚度成分 | X射线 | Na - U |