利用光波干涉原理 (见平晶、激光测长技术)将被测表面的形状误差以干涉条纹图形显示出来,并利用放大倍数高 (可达500倍)的显微镜将这些干涉条纹的微观部分放大后进行测量,以得出被测表面粗糙度。应用此法的表面粗糙度测量工具称为干涉显微镜。这种方法适用于测量Rz和Ry为 0.025~0.8微米的表面粗糙度。
光线通过狭缝后形成的光带投射到被测表面上,以它与被测表面的交线所形成的轮廓曲线来测量表面粗糙度。由光源射出的光经聚光镜、狭缝、物镜1后,以45°的倾斜角将狭缝投影到被测表面,形成被测表面的截面轮廓图形,然后通过物镜 2将此图形放大后投射到分划板上。利用测微目镜和读数鼓轮(图中未示)先读出h值,计算后得到H 值。
表面粗糙度测量是指将表面粗糙度比较样块(简称样块,图1)根据视觉和触觉与被测表面比较,判断被测表面粗糙度相当于那一数值,或测量其反射光强变化来评定表面粗糙度(见激光测长技术)。
由于金属加工件更多采用数字表面粗糙度规范,采用目视(如用眼睛观察检测零件是否镜面和不带毛刺)或触觉(如用指甲划过零件表面检查是否不光滑和粗糙)的方式来检测零件表面粗糙度的需求已经消失。